宣城3200平晶圆制造生产车间净化工程方案分享
来源：www.kqhjh.com 作者：新莆京好净化
发布时间:2025-07-14 16:01:30点击:次
本晶圆车间采用赛博科技未来风设计，以钛金银（设备）、哑光黑（结构框架）和霓虹蓝（智能交互界面）构成核心视觉体系，强化高科技产业属性。
地面为导静电高架地板系统，确保微振动控制与管线隐蔽；墙面采用航空级铝复合板，阳极氧化处理防静电；顶面集成ULPA超高效过滤模块，配合负压梯度控制气流。
功能布局严格遵循半导体Fab标准：黄光区采用波长过滤玻璃，晶圆传送由AMR机器人完成，中控台配备AR监测屏。创新性融入数字孪生投影墙和动态压差显示系统，在满足ISO14644-1Class100标准的同时，构建具有科幻美学的尖端芯片制造环境。
